一、SF6湿度： 测量范围：露点-80～+20℃
露点精度：±0.4℃响应时间：63%[90%]
+20～-20℃ Td 5s[45s]-20～-60℃ Td 10s[240s]
分辨率：露点0.1℃或0.1ppm
重复性：±0.4℃
气体流量： 0.5～0.9L/min
探头保护：不锈钢烧结过滤网
二、SF6纯度（温度补偿型热导传感器）：
测量范围：0～100%；
响应时间：90%，15s
精 度：±0.4%FS， ±0.1%（99%～100%SF6）
三、SF6分解产物：
H2S量程：0~200ppm
SO2+SOF2量程：0~100ppm
CO 量程：0~5000ppm
精 度：测量值≤10 uL/L时误差≤±0.5 uL/L
分 辨 率：SO2 0.1 uL/L，H2S 0.1 uL/L，CO 0.5 uL/L
重 复 性：测量值≤10ppm时重复性≤±0.5；测量值≥10ppm时重复性≤±5％
四、其他
显示方式：彩色超大LCD显示屏
屏幕显示：露点、ppmv、纯度、分解产物、流量、温度、压力
工作电压：220VAC±10% 50Hz，交直流两用，过充保护；工作压力：0～1MPa
样气流速：0～1L/min
电子质量流量计
输出接口：USB2.0；存储功能：1000条
操作环境：温度：-20～+60℃
打印方式：热敏打印
尺 寸：330×260×110(MM3)
重 量：约7.5kg
